
电子质料级过滤洗涤干燥机

必一运动恒久从事过滤、洗涤、干燥及高清洁工艺装备研发制造,,,,,,,是 JB/T 20099-2022《药物过滤洗涤干燥机》独家起草单位,,,,,,,累计交付过滤洗涤干燥装备1800+台。。。。。。产品形成多规格系列,,,,,,,并可凭证客户物料特征、工艺蹊径及纯度控制要求开展非标定制,,,,,,,在装备结构、密闭方法、材质系统、洗濯、自动化及工艺适配等方面举行针对性设计。。。。。。
针对高纯电子质料对金属离子、侵蚀及清洁度的控制要求,,,,,,,装备可凭证物料和工艺条件选用 316L、904L、Hastelloy、钛材等接触材质,,,,,,,高配可接纳电解抛光,,,,,,,外貌粗糙度可达 Ra ≤ 0.2 μm。。。。。。半导体及高纯电子质料场景可优先接纳滤布,,,,,,,降低金属过滤介质可能带来的金属离子引入危害;;;;;;关于更高纯度或强侵蚀工况,,,,,,,还可设置 PFA / ECTFE / PTFE 喷涂或衬里,,,,,,,构建低析出、耐侵蚀的物料接触界面。。。。。。
装备特点:
极限低析出:要害金属元素单项溶出量 ≤1 ppb,,,,,,,支持 SEMI Grade 3;;;;;;装备本体内外貌接纳电解抛光,,,,,,,配合可选配高纯涂层/衬里;;;;;;全密闭+双端面机械密封+N?/Ar;;;;;;,,,,,,,镌汰情形袒露。。。。。。
全密闭一机完成:一台装备完成过滤—置换洗涤—脱液—真空干燥—自动出料,,,,,,,镌汰人工转运;;;;;;过滤介质可选滤布以阻止金属离子析出,,,,,,,或使用多层金属烧结滤板阻止纤维脱落。。。。。。
温顺;;;;;;ぃ旱图羟薪涟璞;;;;;;し肿恿从隤DI;;;;;;高真空低温脱溶把残溶残水压进窗口;;;;;;全流程密闭自动、参数可追溯,,,,,,,包管批次一致性。。。。。。
应用规模:
- 光刻胶树脂 / 成膜树脂
- PAG 及相关电子质料
- 液晶单体及中心体
- 钛合金 3D 打印质料
- 高纯晶体
- 细腻电子化学质料